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第414章 只能先睁一只眼闭一只眼(第2页)

缺点一是对能量比较敏感。。

在光刻机工作过程中,必须严格控制光源的能量,也就是光长度,以保证光刻胶的感光度。对紫外光和深紫外光尤其敏感。

缺点二是对化学溶剂耐受性较弱。

在光刻机加工的过程中,有些生产步骤需要使用化学溶剂,清除未暴露部分残留的光刻胶。这一步非常关键。

该清除的部分,要是清理不干净,再继续光刻的时候,就容易造成漏刻,就会导致芯片报废。不该清除的部分,是被清除了,或者膨胀了,就会导致不该雕刻的部分雕刻了,或者变形。

同样会报废芯片。因此。

使用光敏聚合物制作的光刻胶,对化学溶剂要求也非常高,各种物质的配比必须严格按照要求。只要有一点不对,一批芯片就报废了。

缺点三是机械性能差,包括机械强度和耐磨性。

有一些芯片加工的时候,中间的加工环节,有可能会施加一定程度的物理压力,或简单打磨。这种类型的芯片,就不适合使用聚合物光刻胶。

缺点四是稳定性差。

强光照射、温度骤变、气密性不好,都有可能导致聚合物光刻胶变质,储存环境要求比较高。有些时候。

聚合物光刻胶轻微变质,从物理性状上根本看不出来,颜色不变,味道不变,会被误认为是好的。但是。

进了光刻机,实际加工的时候,就会出现问题,容易导致一批芯片报废,甚至影响光刻机。

这才是最糟糕的。

这些缺陷,都是聚合物本身的缺陷,根本无法改变。只能先用着。

继续研更好的光刻胶。

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第二代光刻机,目前只是初级产品,还有待进一步升级,新型光刻胶就是重点升级目标之一。第二代光科技刚研究出来,就被列入了国家机密。

全部知情人,都签署了最高等级的保密协议。当然。

这样的人并不多。

除了在场的院士们,就没有多少了。

并不是说研、生产第二代光刻机的时候,参与者人数不多。实际上,参与的人数非常多。

但是。

参与人不等于知情人。

很多人,为第二代光刻机生产零件的时候,只知道要生产什么零件,不知道零件用于光刻机。

像他们这些人,只是签署了普通保密协议。就算他们泄密,也没有秘密可泄。

万兴邦研究第二代光刻机的时候,全世界各国都在研究光刻机,很多国家都投入了巨额的费用。他们都不傻。

都知道芯片在未来的作用。

要是自己国家没有光刻机,依靠从华夏进口,肯定要被华夏限制。万一出事儿。

断了他们的光刻机供应,看了他们的芯片供应,他们的展可能就要停滞,必须研究光刻机!就算不能实现国产化。

也必须实现主体国产化。

万兴邦也知道各国都在研究,大掌柜等人也都知道,大家都不着急。原因很简单。

和光刻机有关的技术,能申请专利的,都申请了专利,不能申请专利的,最高等级的绝密。要么不容易研究出来。

要么研究出来,现专利早已经被申请了,就算研究出来了,也不能用,除非获得使用许可。很多时候。

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