大佬们和姜昭节交流了两句,肯定和赞扬了他对科研人员的重视,转头就指着模型某一部分探讨起来。
姜昭节眼风扫过站在一边兴奋不已的股东们,他们稍稍一顿,为免挤占大佬们观察的空间,很有眼色地和助手们打了个招呼就离开了。
姜昭节往曲旭清身边走了两步,一位大牛正举着实验数据,向他确认一个光刻机物镜的数据差。
刘佳宁瞧见姜昭节听得认真,也走了过去。
“这是在说物镜数据的误差哦,是最后那几次试验的结果啊。”她压低了声音,“这个误差和咱们公司用的镜片质量有些关系。镜片加工和镀膜水平都不是顶尖,导致图形出现一部分扭曲。”
光刻机的作用是将设计好的芯片线路图,通过一系列手段完全等比例缩小,从而完美地刻在硅片上。
兔国的线路图设计水平位于世界前列,但一直无法制造高端光刻机,基本依赖进口。
这其中,原因有很多,也包括光刻机的物镜系统不能自主生产。
姜昭节拧起眉头,神色有些凝重,刘佳宁愣了一下,误会他没明白自己的意思,于是进一步解释。
“物镜系统的作用,姜总你知道的吧补偿光学误差,并等比例缩小线路图。这个需要非常高的精度来避免图像变形,所以和平时见到的什么显微镜、望远镜的镜片是有区别的。”
包括材质、镀层什么的,要求都更加严苛。
姜昭节点点头,也压低了声音“但星维现在使用的物镜,已经是国内能买到的最好的了。是直接从实验室出来的。”
刘佳宁一惊,再次对姜昭节广阔的人脉叹为观止,边上那位大牛听到,也惊奇侧目。
“小友辛苦了。”大佬和蔼地道,“你有这个心,还尽了这个力,实在是难得。”
姜昭节忙谦虚了几句。
大佬摇摇头,很是真心地夸赞了姜昭节一会,转头向刘佳宁“小刘啊,你过来。出来什么了吗”
刘佳宁走上前去,着大佬指出的几处数据,疑惑道“这几组数据好像都有点偏高了。”
大佬赞许道“你们这个研究成果,可了不得,最终能源转换效率提升了不少。”
光刻机能耗非常恐怖,因为经过多次反射,能源转换效率不足002,为了完成最后的工序,自然要加大能量。
刘佳宁他们研发的新技术,能够有效缩短光的反射路程,减少过程中的能量损耗,折合过去,就是每天大量减少电力消耗,同时还降低了光刻机本身的制造难度,理所当然得到大佬的高度赞扬。
大佬笑道“毕竟是个新技术,目前不够稳定,对物镜系统要求也比较高,确实有些隐患。”
他又翻出几个数据,招呼刘佳宁和曲旭清。
两人把着重提出来的数据汇总分析,很快意识到,由于对物镜系统要求过高,这项技术很可能会影响整个光刻机的温控设备。
刘佳宁恍然大悟,还对姜昭节解释道“这应该就是我本能觉得不对的地方了。咱们公司的实验室,没有单独测量物镜温度的设备,我倒是疏忽了这一块的问题。”
目前对于调控缩放线路图的光路,比较先进的方法是控制透镜和反射镜的温度。
新技术可以缩短芯片制程,虽然减少一定能耗,但每单位路程上,光束更加集中,导致单位体积内热量增高,必然影响温控设备的使用和调节。
曲旭清琢磨着道“来得增加一个补偿校正温度的设备。”
刘佳宁“温度控制器以目前国内的物镜生产水平,恐怕得加大功率的才有效。”
姜昭节随口道“什么样算大功率如果功率过大,会不会这项技术能够减少的能耗”
刘佳宁和曲旭清同时皱起眉头“这个要测定一下,还不好说。”
但如果温控设备的消耗超过了新技术节约的能耗,那这项技术
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