而现在他们要做的就是进行第一次制作实验!
他们要在这台崭新的超级光刻机上,试着制作出第一枚芯片!
徐舟进去后,先是检查了场地的所有条件。
光刻机的制作与存放可不是随随便便就可以的,这玩意不仅难造,还特别金贵。
因为涉及光学原理,有时候一丝丝灰尘便能让整个机器毁于一旦,迎来大修!
除了存放环境之外,光刻机使用的空气净化程度还有洁净程度也很重要。
一旦空气中存在大量颗粒物,便会影响曝光的准确度和精度,这些都是需要格外注意的。
除了这些还有温度的影响,过冷过热都会影响成功率。
总之就是非常复杂。
所以根据条件,这里搭建了一个巨大的存放和制作舱体。
“当前温度22,达标!”
“相对湿度55,达标!”
“空气洁净等级符合!达到万级!”
“黄色波段光影投射率达标!”
几人分别按照手上记录的要求一一检查完毕。
最后所有问题全部确定后,所有人将目光看向徐舟。
“徐院士,你是光刻项目总工程师,接下来的一切由你指挥!”
刘忠民激动又紧张的看着徐舟,眼神中有期待和紧张的情绪。
徐舟深吸一口气,虽然充分相信超脑中的技术,但到这一刻,徐舟也控制不住的开始有些紧张。
龙国这么多年的期望,米国这么多年的压制,都将在这一刻正式改变!
只见徐舟在众人瞩目下,闭眼后再次睁开双眼,不知道是不是错觉,所有人似乎看见了两道锐利的光刺了出来!
“我宣布,代号‘薪火’1纳米超级光刻机第一次实体制作,正式开始!”
“收到!”
下一刻刘忠民张安周国富三人按照早就练习了无数次的动作开始开机。
随后两人配合操作。
徐舟则是看着一切有条不紊的进行,保证没有环节出错!
过了一会,张安举手。
“所有准备完毕,开始!”
嗡!!
整个机器发出轻微的嗡鸣声。
接着一阵阵机器活动,光束发射等等,各种声音交织在一起。
几乎是几秒钟的时间,只见机器一套流程完全自动进行结束。
而站在出品处的徐舟,在众人的注视下,缓缓举起手中一枚被封装好的芯片
顿时众人一阵欢呼鼓掌,但是刘忠民很快示意安静。
芯片做出来还要测试,首先是纳米制程是多少,其次便是多做一些统计良品率!
徐舟将芯片拆开,放进专业的测试设备中。
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