:euv光刻机的核心技术,主要由三大系统构成。
首先是euv光源系统,这个系统负责制造光刻过程中,需要用到的特殊光线。
从第一代的uv光刻机,到第五代的euv光刻机,光线的波长也从436n,缩短到了135n,目前所有的光刻机,就是通过光线的不同,来区分技术等级的。
这其中主要涉
《科技强国从升级镜头开始》第121章三大件的解决方案正在手打中,请稍等片刻,
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